ALCATEL ATH2300M Turbo Pump分子泵

簡(jiǎn)要描述：性能泵的排氣壓力與進(jìn)氣壓力之比稱為

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更新時(shí)間：2025-03-21
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性能

泵的排氣壓力與進(jìn)氣壓力之比稱為。壓縮比除與泵的級(jí)數(shù)和轉(zhuǎn)速有關(guān)外，還與氣體種類有關(guān)。分子量大的氣體有高的壓縮比。對(duì)氮（或空氣）的壓縮比為10⁸～10⁹；對(duì)氫為10²～10⁴；對(duì)分子量大的氣體如油蒸氣則大于10¹⁰。

泵的極限壓力為10^-9Pa，工作壓力范圍為10^-1～10^-8Pa，為幾十到幾千升每秒（1L=10^-3m³）。

渦輪分子泵必須在分子流狀態(tài)（氣體分子的平均自由程遠(yuǎn)大于導(dǎo)管截面尺寸的流態(tài)）下工作才能顯示出它的*性，因此要求配有工作壓力為1～10^-2Pa的前級(jí)真空泵。

本身由轉(zhuǎn)速為10000～60000轉(zhuǎn)/分的直聯(lián)驅(qū)動(dòng)。

特點(diǎn)

抽速大、無油、啟動(dòng)快、無油污染、維護(hù)簡(jiǎn)單

工作范圍：清潔的低真空~中、高真空，大氣~超高真空

極限真空：10^-6/ 10^-10torr

缺點(diǎn)：結(jié)構(gòu)復(fù)雜、對(duì)軸承耐磨程度要求高、制造成本高

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